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| 型号 |
KUB9 |
操作方式 |
程序控制 |
| 测量行程 |
600*500 |
加工定制 |
是 |
| 分辨率 |
1um |
重量 |
25 |
| 厂家 |
www.felles.cn/baoguangji.html |
|
这款大面积紫外曝光固化机是采用紫外LED冷光源的LED紫外曝光机和LED紫外固化机，是一种冷光源LED紫外固化装置，它提供标准的365nm紫外线，广泛用于光刻胶紫外曝光固化,合晶圆键合 wafer bonding,临时键合temproary bonding,切割蓝膜,切割胶带,切割蓝膜 DICING TAPE的固化应用。
（上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
大面积紫外曝光固化机是完全单色紫外发射，具有35mW/cm^2的功率密度，在9英寸的面积上光源均匀度搞到+/-10%, 是理想的高精度紫外曝光机。
这套大面积紫外曝光固化机采用了ling先的LED光源技术，完全实现单波长紫外冷光源照明，有效消除热效应，非常适合实验室或超净间的紫外曝光使用。
大面积紫外曝光固化机结构紧凑，方便移动，采用触摸屏控制操作，完全有效安全控制紫外曝光室。
大面积紫外曝光固化机的LED紫外光源寿命高达1万小时，非常可靠而耐用，不需要日常维护，非常方便使用。
大面积紫外曝光固化机特点
兼容4寸，6寸，8寸晶圆
兼容9寸’’(8''晶圆）和7寸（6‘‘晶圆）框架
非常紧凑，桌上使用设计
完美的紫外单色LED冷光源，更高固化效率
zui大工作面积为9英寸晶圆
适合所有光刻胶
无需预热，直接开机使用
实时温度控制功能确保均匀曝光
紫外照明功率强度可调
可单次曝光或连续曝光
适合光学，生物科技，微电子，晶圆键合，固化，细胞培养等多种应用
大面积紫外曝光固化机参数
波长：365nm +/-5nm
功率密度：145mW/cm^2
曝光过程中衬底温度上升：<2摄氏度
曝光时间：1秒到1小时
可编程控制循环：10个
外部尺寸：350x 350x350mm
重量：22kg
彩色触摸屏：5.7英寸
供电要求：230V
用电功耗：800W
切割蓝膜曝光时间：ADWILL D650：15秒, ADWILL D175 P370:45秒
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