联系人：陈经理
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| 型号 |
FPSER-Ais2000C |
测量范围 |
120 |
| 激光波长 |
0 |
电源 |
220V |
| 加工定制 |
是 |
重量 |
55 |
| 厂家 |
www.felles.cn/sem.html |
|
科研级SEM电镜采用小型扫描电镜结构设计，适合高校等科研院所获得SEM图像,放大倍率为20-30000,可在办公室使用。
科研级SEM电镜规格参数
光学系统参数
分辨率：3nm@20KV/30KV
放大倍率：10x~300,000x (数字变焦2, 4,8)
加速电压：0.6kv~30kv
电子枪类型：钨丝
图像移动：250um (Y), 360度旋转
电子枪准直： 4级电磁类型 （可自动或者手动准直）
探测器类型： SE探测器
自动功能：自动电子枪准直，自动聚焦，自动对比度亮度，发射电流等
显示： 640x480(area 模式）， 960x640, 1024x768, 2048x 1536（检查模式）， 图片模式（2048x1536~8192x6144）
图像分析：Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移台参数
YZ位移范围：40,40,40mm
tilt倾斜：0-60度
旋转：360度
类型：手动5轴位移台 （可选3轴电动位移台）
选配真空系统
高真空模式：10^-5 Torr
可选配器件：EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等
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