联系人:陈经理
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电话:13820163359
地址: 上海浦东新区上海自由贸易试验区德堡路38号2幢楼三层
| 型号 |
FPSER-Ais1800c |
测量范围 |
0.12 |
| 激光波长 |
0 |
电源 |
220 |
| 最短视距 |
0 |
加工定制 |
是 |
| 重量 |
35 |
厂家 |
www.felles.cn/sem.html |
科研级扫描电镜采用小型SEM结构设计,适合高校等科研院所SEM图像采集,放大倍率为20-20000,可在办公室使用。
科研级扫描电镜规格参数
光学系统参数
分辨率:5nm@20KV SE探测器,4nm@30KV SE探测器
放大倍率:10x~200,000x (数字变焦2, 4,8)
加速电压:0.6kv~30kv
电子枪类型:钨丝
图像移动:250um (Y), 360度旋转
探测器: SE探测器
自动功能:自动电子枪准直,自动聚焦,自动对比度亮度,发射电流等
显示: 640x480(area 模式), 960x640, 1024x768, 2048x 1536(检查模式), 图片模式(2048x1536~8192x6144)
图像分析:Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移台参数
YZ位移范围:40,40,40mm
tilt倾斜:0-60度
旋转:360度
类型:手动5轴位移台 (可选3轴电动位移台)
选配真空系统
高真空模式:10^-5 Torr
可选配器件:EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等

