晶圆探针台,晶圆测试探针台,晶圆测试

　　大型晶圆探针台600LS是专门为300mm晶圆测试设计的大尺寸晶圆测试探针台系统,广泛用于6''晶圆,8''晶圆和12''晶圆探针测试应用。

　　(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）

　　晶圆夹盘拉出特色

　　方便而安全的晶圆更换功能

　　对于12英寸晶圆也可无障碍更换

　　包含人体工程学把手设计，带有可重复触发的释放/锁止功能

　　采用重型精密滚珠导向系统

　　双Z轴气体冲击辅助机械压盘升降系统

　　显微镜升降延迟可调offset

　　装卸晶圆过程中,避免探针卡和探针对显微镜物镜造成干扰

　　网页上的价格是参考价格，未必准确，准确的价格信息请联系我们索取。

　　压盘制冷

　　空气制冷,减少探针漂移

　　集成减震台降低振动影响,带有可调滚轮和操纵杆支架

　　高分辨率电机驱动:310mm Y位移台驱动具有亚微米分辨率

　　操纵杆控制

　　双速预操作控制Y或Z轴

　　可停止操纵杆控制

　　快速按下功能方便操作

　　操纵杆控制

　　双速预操作控制Y或Z轴

　　可停止操纵杆控制

　　快速按下高速按钮功能方便操作，Y或Z转换时,自动提高位移速度.

　　Theta角度控制30度手动分辨率，可根据用户要求选配电动控制

　　显示器平台-方便观看,不遮挡观看

　　模块化设计平台-可根据探针的改变而升级，多种探诊台附件和升级办法供用户选择

　　探针卡支架-优化设计，适合4.5英寸宽度探针卡

　　晶圆探针台规格参数600LS

　　显微镜位移

　　-Y操纵杆驱动,50.8mm x 50.8mm（2” x 2”) ，可选升级到203mm x 203mm (8” 8”)

　　聚焦 (Z)轴旋钮驱动，50.8mm (2”) 标准配置; 可选配升级到100mm (4”) 带有粗调/微调聚焦旋钮

　　显微镜升降延迟：可调节，根据压板Z的功能提升显微镜，以防止损坏探针卡和探针

　　支持的显微镜：QIOPTIQ A-Zoom Meiji stereo-Zoom USMCO, Motec&Seiwa显微镜

　　位移台/晶圆卡盘-Y-Theta位移

　　-Y操纵杆驱动,310mm x 310mm

　　Theta角旋转：手动控制+/-15度。（可选600-EVS-12SS卡盘，采用300mm不锈钢表面，可选真空环用于4英寸，6英寸，8英寸，12英寸晶圆，平整度+/-12微米。）

　　晶圆卡盘-装载/卸载

　　12英寸滑行行程，便于轻松装卸晶圆;符合人体工程学的手柄设计，具有可重复的机械触发释放/锁定功能和重型精密轴承导轨

　　压板Platen：大面积可容纳10个或更多的机械手，专为高温测试所需的风冷而设计。 磁性不锈钢表面，稳定的四点丝杠驱动。包括两个可定位的真空歧管。

　　Z轴微调提升和降低-真实平面垂直运动，亚微米精度

　　Z轴行程：50.8mm (2’’)

　　Z轴快速提升控制：带有锁定Zup位置的Quickplaten升降机，可快速清理工作区域。升降行程：50.8mm（2”）

　　Joystick操纵杆

　　大型便捷操纵杆具有高/低速控制按钮位于顶部，旋转的操纵杆手柄控制压板Z，智能电动驱动控制（顺时针：压板向下，逆时针：压板向上）。位移台-Y启用-暂停功能将位移台锁止在所需位置。对齐启用-停止功能可以锁止Y轴,以便晶圆可以在轴上对齐而不会意外移动Y轴。

　　探针卡支架-适合标准4.5‘’探针卡（其它规格可按用户要求提供）

　　尺寸重量：38” (96cm) D x 48” (122cm) W x 55” (140cm) H 净重181Kg

　　外观处理：发黑氧化铝，不锈钢涂粉工艺