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xyzθ定位平台系统采用美国Aerotech公司高精度多轴多维定位台构造,可进行YZ-Theta四维位移定位,也是全球的xyzθ定位台和xyzθ定位平台系统。
xyzθ定位平台采用Y位移台实现Y定位,采用升降台实现Z轴定位，采用旋转定位台进行Theta定位,采用全数字伺服控制器,从而实现100mm x 100mm x 16mm x 360degree的xyzθ定位，分辨率高达1nm和0.36arcsec。
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