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高精度光刻曝光机是全球的掩模对准曝光机,Mask aligner,是光掩膜板和硅片对准的紫外曝光机.它支持高精度掩模运动,具有光刻机精密光学对准系统,高精度光刻曝光机是光刻应用中非接触高精度光刻曝光机的性产品.
（上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
非接触型光刻曝光机(MSMA-1200M)
高精度光刻曝光机特点
光刻曝光机可用于直径达6英寸的晶圆片。
“用于多产品生产领域的研究和发展”。
“前沿技术”。
采用完全非接触式掩模对准系统。
掩模对准时不会损坏掩膜和晶圆。
间隙精度显著提高。
电脑监控采用交互式操作。
根据“辅助线”可以进行高精度定位。
掩模对准曝光机SMA-600M是用于研发和多种产品生产领域的手动紫外曝光机，采用了清晰的光学系统和完全非接触式校准装置。通过接触或靠近模式，晶圆曝光可达150mm。该紫外曝光机系统对于各种电子设备，例如化合物半导体的LD，LED，和微型机械的制造过程，包括压力传感器等来说，是最适合曝光过程的高精度光刻曝光机。
桌面型高精度光刻曝光机(MEMA-800)
特点
经济型，紧凑型和高级别性能的光刻机
视图中聚焦图像可看到两个校准标记。
曝光用集成镜头。
LED照明灯
高精度光刻曝光机应用
（研发中心和大学的微机械发展）
驱动器，压力传感器，加速度传感器，电力设备等。
用于倒装芯片/ BGA/ CSP的曝光。
用于光学/高速通信组件的曝光。
高精度光刻曝光机规格
| Alignment Scope | |
| 目标分离 | 15 ~ 75mm |
| 总放大倍数 | 100 |
| 观察用的照明灯 | 红色 LED (l=633 nm) |
| 工作台的，Y轴的移动范围 | ±5 mm |
| 调整 | ±5° |
| Utility | |
| 主机和汞灯的电源 | AC 100V 50/60Hz 15A |
| 真空源 | 低于 21.3 Kpa (从大气压到-80 Kpa ) |
| Exposure Unit | |
| 镜头 | 集成镜头 |
| 汞灯 | 250W 超高压蒸汽汞灯 |
| 有效曝光区域 | 100 mm |
| 强度分布 | ±5% 或更少 |
| 照明强度 | 20 mW/cm2 (405 nm) |
| 曝光时间控制 | 数字和旋转电磁阀 |
| 汞灯照明单元 | AC 110V |
Double View Mask Aligner双视野高精度光刻曝光机
| MPEM-16M （适用于直径达4英寸的晶圆）
| MPEM-12M
（适用于直径达6英寸的晶圆）
| MPEM-1600
（适用于直径达8英寸的晶圆）
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MPEM系列高精度光刻曝光机是高精度双视野紫外曝光机，包括在顶部的对准光学系统和在底部的晶圆，因此装顶部表面可进行接触、软接触和接近图案，在底部晶圆可校准图案。高分辨率光学系统，在顶侧和底侧安装了对称的10物镜，因此可对准以掩模和晶圆。成对的物镜之间的间隔距离可以调节，所以可以自由地对准不规则形的晶圆。
* 除了上述这些，还有机动型MPEM-2000/4000和全自动型MPEM-8M/12M 。
更多详情浏览：
掩模对准光刻机规格
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| MPEM-1600 | MPEM-12M | MPEM-16M | |
| 光掩模尺寸 | 5-英寸 | 7-英寸 | 9-英寸 | |
| 晶圆尺寸 | 达4英寸（非结晶型） | 达6英寸（非结晶型） | 达8英寸（非结晶型） | |
| 掩模固定座滑动 | 手动夹盘 | |||
| 掩膜运动 | =±3 mm, Y=±3 mm | |||
| e曝光 | 方法 | 软接触/硬接触/接近曝光 |
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| 照明 | 250W超高压汞蒸汽灯 | 500W超高压汞蒸汽灯 | ||
| 不规则照明 | ±5% | |||
| 有效曝光区域 | 直径100 mm O | 直径150 mmO | 直径200 mmO | |
| 分辨率 | 3mμ L/S | |||
| 对准 | 方法 | 由目镜观察（精神领域系统） | 9英寸的监控器系统 | |
| 物镜镜头 | 10 两对（更高/更低） | |||
| 目镜 | NWF 10 （一对） | - | ||
| 总放大倍数 | 100 | 200 | ||
| 物镜分离距离 | 15 ~ 90 mm | 80 ~ 140 mm | 55 ~ 184 mm | |
| 聚焦单元 | 手动 | |||
| 对准范围 | , Y = ±4mm
? = ±22.5°
| , Y = ±4mm
? = ±5°
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| 对准间隔 | 09 ~ 99μm | |||
| 对准精度 | 少于 ±5mm | |||
| 一次性用具 | 主机电源 | 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (600W) | ||
| 汞灯电源 | 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (550W) | 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (1,100W) | ||
| 氮气 | 0.4 ~ 0.5 Mpa | 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (1,100W) | ||
| 真空压力 | 少于 21.3kPa
(从大气压到-80kPa )
| |||
| 尺寸（主机） | 750(宽)x
820(深)x 1,700(高)mm
| 940(宽)x
860(深)x 1,670(高)mm
| 1,200(宽)x
1,090(深)x 1,800(高)mm
| |
| 净重 | 约，450 kg | 约，550 kg | 约，700 kg | |
| 选项 | NWF 15 目镜（一对）
9英寸TV 监控系统（黑色和白色）
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