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| 品牌 |
孚光精仪 |
型号 |
FPIMI-NANO |
| 货号 |
无 |
材质 |
不锈钢 |
| 额定电压 |
220 |
最大输出功率 |
10 |
| 规格 |
/ |
重量 |
5 |
| 加工定制 |
否 |
是否进口 |
是 |
纳米操纵系统采用纳米探针模块nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合SEM和各种电镜样品微操作使用。
纳米操纵系统布局非常方便,可快速增加或移除纳米探针模块,调整定位和方向,也可以现场远程控制。
纳米操纵系统可以与各种高分辨率电镜,SEM匹配使用,采用磁性镜头设计,可与市场上主流扫描电镜联合使用,即使在加速电压低于0.5kV也能充分施展高分辨率性能。
纳米操纵系统的安装非常方便,不需要改造原有的扫描电镜,几分钟即可完成安装。
纳米操纵系统规格参数(单个纳米探针模块规格)
自由度：4个独立的自由度,Y,Z,R
尺寸：主体20.5mm x 21.7x 12.5mm, 机械臂8.3mm
重量：12g
定位分辨率：Stepping模式下:60nm(,Y), 120nm(Z)
Scanning模式下：0.02nm(,Y), 0.1nm(Z)
运动范围： Stepping模式：20x20mm(Y), +/-180度（R), 41度（Z)
Scanning模式：440x250x780nm (YZ)
运动速度：1.5mm/s (Y), 150mrad/s(Z)
力/力矩： 推力0.3N (Y), 升力：0.7mNm(5g) (Z)， hold力: 0.2N (Y)， 0.9mNm(6g) (Z)
Tilt 角：55度
漂移：<1nm /min
电学探针规格：
电压范围：+/-100V
电流范围：100mA
带宽：25MHZ
电阻：约为3.5欧姆
纳米操纵系统各种布局
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