大型手动探针台,是晶圆探针台,半导体探针台

　　这款科研级大型手动探针台一款专为半导体领域设计的大型晶圆探针台，它可用于高达14''半导体晶圆的测量，并在全球范围内实现YZ，theta多维控制。这款大型手动探针台提供一种连续使用的工具，它可以提供YZ,Theta的控制，并采用Z轴反向驱动技术控制Z轴运动。它的多功能性，极高的性价比和简化操作的设计是得它成为的手动探大型手动探针台针台。

　　大型手动探针台特点

　　最近的若干年中，一些价格适中，操作方便的探针台从笨重而昂贵的探针台系列中脱颖而出，成为探针台发展的主流方向。这些新型探针台非常方便用户的使用，极大提高了用户效能和测量速度，同时也为研发工程师提供了多功能方案。 我们设计的这款探针台的价格仅为传统探针价格的2/3, 为客户提供了操作简单的手动探针台方案。

　　Straight-forward use: 这款大型手动探针台采用直线向前运动设计，操作非常简单容易，更加方便晶圆装卸，真空样品台控制，样品旋转，捆绑探针用于可重复的图案化。用户不需要学习软件，因为它采用了常见的显微镜取代视频相机，用户直接在视场找到探针就可测量。

　　Small Footprint probe station: 这款大型手动探针台可用于所有实验室环境和工艺环境。 它的尺寸是39''长, 26''宽，19.5''高，非常适合空间狭小的测试环境，操作人员可距离探针台更近操作。

　　Crucial features to make your job easier: 大型手动探针台的样品台吸盘可旋转380度而没有反冲问题，因此样品台真空吸盘可以反过来使用也不需要调整真空。这个14英寸的样品真空吸盘可一次性同时安装4个6英寸的晶圆，非常方便各个晶圆的比较测量。所有的探针都可定位到14英寸真空吸盘表面的任何位置，这就不需要用户因为探针位不足导致的探针样品再定位问题发生。所有的同心环真空都是彼此独立，这样就实现了所有17个对角真空控制多个装置同时测量。

　　大型手动探针台的特别设计，压力不会突发性地压着探针冲向样品。手动探针台采用了龙门式设计结构，可以负载重量更大的样品。

　　大型手动探针台配置典型的配置包括：D14 探针台，真空泵 (vacuum up to 29 in. Hg (31 mbar)，显微镜 (Olympus奥林巴斯显微镜: 6.7 - 45放大倍数)其他显微镜 (Olympus: 16 – 112, Olympus: 19 – 135).

　　14英寸/(355.6mm) 卡盘

　　独立真空控制3", 6", 8". 10", 12" and (14") 晶圆直径

　　17个独立操作真空位置用于校准标定衬底或其它器件

　　真空致动与卡盘真空位置的一对一关联

　　探测探头独立

　　两个独立的Z轴升降装置

　　无后冲theta 控制并带有锁住手柄

　　独立的YZ三轴精调用于程度准直

　　独立的粗调 , Y, Z, Θ

　　背部可驱动控制功能

　　桌面设计金6.25英寸高度

　　占用空间小,长度x宽仅39x26英