微图案化光刻机,Micropatterning光刻采用微接触印刷,微流控芯片光刻

微图案化光刻机,Micropatterning光刻采用微接触印刷,微流控芯片光刻

价格 60,000.00
起订量 10㎡
货源所属商家已经过真实性核验
品牌 孚光精仪
型号 FPBIO-Micropatterning
关键字
在线咨询 立即下单 留言询价 电话咨询
辅光精密仪器(上海)有限公司
通过真实性核验手机验证
主营:
激光粒度仪器-光学成像仪器 - 医用光学仪器

进入店铺全部产品

店内推荐

联系我们

联系人:陈经理

邮箱:info@f-lab.cn

电话:13820163359

地址: 上海浦东新区上海自由贸易试验区德堡路38号2幢楼三层

产品详情

  微图案化光刻机和Micropatterning光刻技术采用了微接触印刷μCP技术,可为科研客户加工制作微结构微流控芯片光刻而提供的一种订制化微流控芯片加工制作服务。

  我们根据微图案微结构使用相应的加工技术,如无掩模光刻(几个不同的光刻胶上的结构),在玻璃基板蚀刻并金属涂层沉积(铬蚀刻),湿法刻蚀等。

  更多光刻机请看:

  无掩模光刻

  基板表面准备之后,旋涂光致抗蚀剂,得到一层均匀厚度。镀膜光致抗蚀剂晶片,然后进行“预烘烤”(软烘焙)除去过量的溶剂,准备将光致抗蚀剂暴露于激光束。光致抗蚀剂暴露于激光束下得到图案轨迹(无掩模光刻系统)。一步是暴露的光致抗蚀剂的开发。第二加热步骤(硬烘焙)是为了将图案稳定在基板表面。

  例子:微接触打印PDMS模具。请联系我们告知您的图案尺寸(光阻层高度和通道宽度)。

  玻璃湿法刻蚀

  以下的光刻工艺,液体(“湿”)化学剂可用于去除不受光致抗蚀剂保护区域的玻璃基板上的最上层:这是在湿蚀刻工艺。

  例子:微流控芯片的微通道制造

  请联系我们告知您的结构大小(微通道的宽度和深度)。

  金属层湿法刻蚀铬层(举例)可使用气相沉积技术来沉积。微观结构可以通过在金属层湿蚀刻产生。支持深化学腐蚀。

  例子:光模式和目标的生产。请联系我们告知金属类型,沉积层厚度和微通道的宽度。

售后服务

商家电话:
13820163359