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| 型号 |
FPASI-3D/4D-stage |
工作原理 |
机械式 |
| 精度 |
1um |
重量 |
35 |
| 厂家 |
www.felles.cn/weiyitai1.html |
|
电控三维位移台3D/4D-stage是专门为激光光学安装固定设计的电控YZ位移台,并且可在三轴位移台基础上加上旋转台组成四轴位移台功能。
电控三维位移台采用三个电控直线线性位移台组成,可以增选一个电控旋转台用于θ轴旋转。三维位移台组成YZ维的位移,可提供行程距离有25mm、100mm或200mm,每个轴可以独立选择。
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
各种进口三维位移台,XYZ位移台,平移台,定位台,高精度电动控制，请您联系我们，支持订制。
图1：电控三维位移台实物图3D-stage
三个YZ三维线性位移台采用闭环直流伺服电机,交叉滚筒轴承,高精度丝杆和高分辨率定位反馈编码器控制,从而保证了位移台平滑和精que的运动。与其它工作台一样，这些电控三维位移台可以极慢的速度均匀移动，电控三维位移台提供各种速度/精度选项,也可订制3D/4D位移台系统,通常通过一个适配板把各个位移台组装在一起。
电控三维位移台可以使用各种各样的控制器，这些控制器和工作台可以相互兼容,推荐使用自由的MS2000位移控制器，可自动纠偏，并可通过RS-232或USB连接与上机位进行通讯。
电控三维位移台参数
| 技术参数 | 尺寸 |
| 编码器分辨率* | 5.5 nm |
| 线性编码器 | 10 nm |
| RMS重复精度（典型） | < 0.7 μm |
| 采用线性编码器重复精度（典型） | 200 nm |
| 丝杆精度 | 0.25 μm/mm |
| 采用线性编码器后的丝杠精度 | ± 3 μm/length scale |
| zui大速度* | 1.75 mm/sec |
| 行程范围 | 25~100mm |
*注：采用1.59 mm螺距的丝杠（16TPL）
电控三维位移台丝杠附件
| 丝杆螺距选择 | 旋转编码器分辨率 | zui大速度 |
| 25.40 mm (极粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
| 6.35 mm (标准) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (细) | 5.5 nm | 1.75mm/sec |
| 0.635 mm (极细) | 2.2 nm | 0.7mm/sec |
注：采用旋转编码器和6.35毫米螺距丝杆
图2：电动四维位移台4D-stage俯视图（由YZ三维位移台+旋转台构成）
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