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| 型号 |
FPGAM-EX5 |
运转方式 |
连续式 |
| 激励方式 |
电激励式 |
波段范围 |
近紫外 |
| 光路径 |
内光路 |
传输信号 |
单电源型 |
| 速度 |
低速 |
通道 |
单通道 |
| 加工定制 |
是 |
输出波长 |
157nm(F2) |
| 输出波长 |
193nm(ArF) |
输出波长 |
248nm(KrF) |
| 输出波长 |
308nm(eCl) |
输出波长 |
351nm(eF) |
| 产地 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
厂家 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
小型准分子激光器是一款真正的全功能微型准分子激光器，157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(eCl),351nm(eF)波长,脉宽7~9ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm时激光功率高达8W，在193nm激光功率高达4W,采用超紧凑型48 26 26厘米、15千克、风冷封装。
小型准分子激光器特点
内部法拉第笼确保超di电噪声
陶瓷/金属制造
寿命高达10亿次
固态开关
抖动2ns
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
小型准分子激光器应用
?替代医用激光器
?电离源激光器
?紫外激光微加工
?精密激光标记
?准分子屈光手术
?拉曼光谱
小型准分子激光器E5规格
工作物质 F2 ArF KrF eCl eF
波长nm 08 351
zui大能量mJ 1.5/2.0* 12 20 8 6
峰值功率MW 0.25 1.75 2.5 1.0 0.75
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 2.5 4.0 1.5 1.3
平均功率W@500Hz 0.5 5.0 8.0 2.5 2.4
重复频率 250/500/750
动态气体寿命50%能量10E6 12E6 18E6 10E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 2个月 30天
脉宽ns 7--9
稳定性 <2%标准偏差
激光管寿命 20亿脉冲
光束尺寸mm 3 6
发散角mRad全角度 1 2
冷却 空气/可选水冷
定时抖动 2ns标准偏差
重量 15kg 250/500Hz
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