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5635型Aerobar MP离子发生器是一款超低颗粒相容性产品，专为在要求100 nm或更小的微粒管理（例如在先进的半导体制造工艺中）的区域消除静电而开发。
特征
单晶硅电极在全球范围内拥有的应用记录，可避免电极材料污染金属以及超低颗粒特性的风险。
高静电消除性能，可通过原始MP（脉冲调制）方法有效地将离子传输到目标
很小的潜在摆动特性，即使在100 mm的距离上也可以使用，并且离子平衡，在棒的长度上几乎没有偏差
智能控制电路不断自动管理离子产生状态和离子平衡
可以在1/4圈上装卸的可更换电极有助于减少维护人力
MP方法的电位摆幅非常小，简化了设置过程，并且较小的电位摆幅有效地将长期离子平衡保持在控制标准之内。
设置一条长度适合EFEM的长度以进行半导体前处理
内置24V DC驱动控制器的紧凑型设计
遍布全球的高级支持网络
规范5635型AeroBar MP
| 输入电压 | 24V DC +/- 10％ |
|---|---|
| 输出电压 | 约13.5kv pp可调 |
| 安装距离 | 100mm-1000mm（不吹气） |
| 离子产生方法 | 电晕放电法 MP（脉冲调制）法调制频率1-33 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡调整方法
<+/- 10V，由于位置<+/- 10v （600毫米距离）而引起的内杆差异 |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥的空气或氮气 |
| 吹扫压力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm（24小时累计值） |
| 信号输出 | 警报IO集电极开路输出 |
| 尺寸 | 高度78毫米x深度34毫米x长度低于 |
| 450
/ 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 /1600 / 1750年/二千○五十分之一千九百/ 2200 /2350毫米 | |
| 外观 | ABS树脂 |
什么是扩展ISO 1,10nm级？
关于扩展的ISO Class 1,10nm？ION Systems拥有自己的清洁度定义，以支持微粒管理。ISO14644-1的小粒径定义为100 nm。扩展ISO 1,10nm级别使用与ISO14644-1相同的公式来计算允许的颗粒数量，并且允许的颗粒数量为1200pc / m3（34 pc / ft3），且颗粒大小为10nm或更大
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