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器，专门设计用于超净工艺设备，例如半导体。
特征
单晶硅电极在全球范围内拥有的应用记录，可避免电极材料污染金属以及超低颗粒特性的风险。
脉冲直流法具有广泛的静电消除能力
全数字电路控制离子产生更稳定，离子平衡更持久
通过在静电消除目标附近安装5200-SR外部传感器（可选），可以反馈控制在静电消除目标附近的离子平衡，而不是电离离子棒主体（如果未连接5200-SR，则是电离棒主体的内置传感器）离子平衡自动调整）
设置一条长度适合EFEM的长度以进行半导体前处理
通过在宽范围内设置离子产生输出，离子产生时间，警报阈值等各种参数，可以灵活地应对长距离应用和气流微弱的环境。
只需输入参数的数值即可获得高重现性，并可在短时间内进行设置。
除了简单的报警IO，还可以使用免费提供的DLL进行实时监视，这有助于掌握过程设备内部的状态。
规范5225型AeroBar
| 输入电压 | 由24V AC，50 / 60Hz，1W Typ。IM6T提供。 |
|---|---|
| 沟通形式 | RS485（在IM6T和5225之间） |
| 输出电压 | 0kv?约+/- 20kv |
| 输出形式 | 脉冲直流模式，稳态直流模式（可选） |
| 输出电流 | <15micro A内置电流和电压限制电路 |
| 连接接头 | RJ11，4极4芯 |
| 离子产生时间 | 小0.1秒，10秒可以分别设置正负 |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 臭氧产生 | <0.005ppm（24小时综合测量） |
| 相应的清洁度 | ISO Class1，0.1微米 |
| 尺寸 | 高度53mm x深度31mm x长度569mm（-22），721mm（-28）， |
| 907公厘（-36），1128公厘（-44），1412公厘（-56），1636公厘（-64）， | |
| 1918mm（-76）和2144mm（-84） | |
| 重量 | -22：1.02公斤0.17公斤/每额外长度30厘米 |
| 外观 | ABS树脂 |
接口模块型号5200-IM6T
| 输入电压 | 24V DC +/- 5％，1.5A |
|---|---|
| 沟通形式 | 以太网，RS232C |
| 报警输出 | 继电器触点（仅V4.0或更高版本） |
| 尺寸 | 高度74毫米x深度71毫米x长度315毫米 |
| 重量 | 2公斤 |
19938139269