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| 品牌 |
HONDA/本田 |
型号 |
W-357-1MQG-SKC |
| 动力 |
电 |
用途 |
工业用 |
| 清洗温度 |
台式超声波清洗机 |
频率 |
台式超声波清洗机 |
| 容积 |
台式超声波清洗机 |
超声功率 |
台式超声波清洗机 |
| 加热功率 |
台式超声波清洗机 |
电源 |
台式超声波清洗机 |
| 超声清洗频率 |
台式超声波清洗机 |
工作方式 |
台式超声波清洗机 |
| 适用领域 |
台式超声波清洗机 |
重量 |
台式超声波清洗机 |
石英振动体型
实现低损伤和高清洁度的下一代清洁
2006年，石英振动体式超声波清洗机组在世界上投入实际使用。
在该方法中，通过在石英振荡器上叠加超声波来清洁半导体晶片。
与间歇式清洗和流水式清洗相比，可以减少化学品的使用量，并且由于接液部分仅为石英玻璃，并且填料等橡胶材料不与液体接触，因此可以保持高清洁度...
另外，根据用途准备石英振子的形状，可以满足低损伤清洗、大面积清洗、斜面部分（端面）和槽口（晶圆端面的槽口）的清洗等需求. 它可以实现有效的清洁。
概述特征
以低损伤清洁具有微型图案的晶片
■ 通过在石英振荡器上叠加超声波来清洁半导体晶片
将化学溶液浸入半导体晶片中并通过石英玻璃传播超声波振动，接触区域化学溶液振动并加速去除污垢在表面上。
■ 实现对半导体晶圆损伤少的清洁清洁 与
化学品接触的部分使用石英，与填料等使用橡胶材料的设备相比，没有橡胶溶出或磨损，可实现清洁清洁。
■ 具有振子冷却功能，通过气体（氮气等）冷却振子，可实现无频率波动的稳定连续运行。
此外，通过冷却，没有突然的温度变化，延长使用寿命。
采用
去除抗蚀剂残留物
磨边后，灰化后去除聚合物
栅电极清洁
CMP 后清洁
规格
■ 振荡器
| 模型 | W-357-1MQG-SKC |
| 振荡模式 | 单频振荡 |
| 额定输出 | 12W |
| 标称振荡频率 | 1MHz |
| 输入功率 | AC100V-240V 单相 50 / 60Hz 300VA |
| 外形尺寸
WxDxHmm | 180 x 250 x 100
（不包括突出部分，包括橡胶支脚） |
| 质量 | 2.2公斤 |
● 可变输出范围：0W 至 12W（振动体的允许输入：使用空气吹扫来冷却振荡器时连续 10W）
● 工作环境：温度：15 至 35°C，湿度：10 至 85%
● 外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧） 接点输入：DC12V 16mA 以上
报警输出（仪表） 接点容量：DC24V 0.5A
■ 附属电缆：电源线（100V 2m / 200V 3m）、控制线（5m）x4
■ 振动体
| 流量 | 未指明 |
| 总长度 | 159mm |
| 卡盘尺寸 | φ24毫米 |
| 照射面积 | 24cm2 |
| 大量的 | 600g |
● 工作液体温度范围：20 至 50 ℃
● 振荡器：PZT
● 材料：振动体：石英玻璃，填料：硅橡胶，外壳：PCTFE
● 线长：输出线 1.5m + 中继线 3.5m
● 空气净化配件：兼容管子（外径φ6）
* 2MHz 和 3MHz 也可作为定制规格提供。
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