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| 品牌 |
精碳自动化 |
保护方式 |
真空气氛 |
| 功率 |
300 |
使用环境 |
工厂 |
| 额定温度 |
根据型号定 |
主要用途 |
用于氧化亚硅等可气相沉积材料大批量生产 |
| 加热元件 |
石墨棒 |
炉膛最高温度 |
1500 |
| 温度范围 |
1200 |
炉膛材料 |
耐火材料 |
| 设备名称 |
真空炉 |
控温精度 |
±1℃ |
| 真空度 |
5 |
控制系统 |
PLD控制 |
| 炉型结构 |
卧式 |
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