联系人：龚红平
邮箱：ghp13975302463@163.com
电话：13975302463
地址： 中国 湖南 株洲市天易大道959号新马工业园B4栋
CVD（G）系列真空高温管式炉专门设计用于高温CVD工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，国产优质硅钼棒加热，优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空，气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制，设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
一、 技术指标：
| 设 备 型 号
|
NT-CVD(G)-08/50/1
|
|
温区最高温度
|
1650℃；(最长恒温时间：≥10小时)；常用温度：1600℃ (最长恒温时间：≥100小时)
|
|
加热有效容积
|
Φ72（内经）×500mm;恒温区尺寸：Φ72（内经）×250mm
|
|
炉管实际尺寸
|
Φ80（外径）×1400mm （国产优质刚玉管）
|
|
炉 膛 材 料
|
氧化铝纤维制品
|
|
控制温区点数
|
1个，1支B分度热电偶
|
|
设备温场温差
|
±1℃ ，日本岛电进口40段程序控制仪表(1只)
|
|
加 热 元 件
|
优质硅钼棒
|
|
加热功率
|
12Kw
|
|
保 温 功 率
|
5kw
|
|
升温速率
|
3℃∽10℃/min;
|
|
降温速率
|
3℃∽7℃/min
|
|
温度均匀性
|
±3℃(有效范围：Φ72×250mm)
|
|
气路配件材料
|
气路配件材料，端头不锈钢发兰密封， 一路气体采用浮子流量计控制， 所有管道和阀门采用不锈钢元件
|
|
极 限 真 空
|
≤10Pa（常温） ,一级机械泵（配电磁阀）。
|
|
压升率
|
≤5Pa/h
|
1000℃时可抽真空，能通氮气保护
外型参考尺寸 1250（L）×1650（H）×650（w）mm
输入动力电源 单相电源，50HZ ，220V±10%；10KW
炉体表面温升 ≤45℃
13975302463