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| 型号 |
GJC-0505-C |
别名 |
感应炉 |
| 加工定制 |
是 |
适用范围 |
石墨、半导体器件、耐热冲刷材料。 |
| 炉膛最高温度 |
2200 |
工作温度 |
900~1200℃ |
| 功率 |
定制 |
电压 |
380 |
| 装载量 |
定制 |
工作室尺寸 |
500×500 |
| 重量 |
定制 |
厂家 |
湖南精碳自动化设备有限公司 |
真空沉积炉
真空气相沉积炉是用于制备碳碳复合材料，沉积炉主要用于石墨、半导体器件、耐热冲刷材料的表面热解炭涂层制备。
应用范围：
石墨、半导体器件、耐热冲刷材料。
1、基本参数
1)设计温度：1250℃/1650℃/1800℃/2200℃
2)常用温度：900~1200℃
3)真空度：＜50Pa
4)压升率：空炉冷态6.67Pa/h(或150Pa/24h)
5)加热方式：石墨电阻加热或感应加热,独立控温，温度均匀性好
6)气氛介质：真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
7)控气方式：质量流量计控制,多通道工气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，环境友好，易清理；
8)炉型：方形、圆形、立式或卧式结构（非标设计）,全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
9)炉体冷却方式：炉壳水冷，可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；
2、炉体结构：
结构形式：卧式-侧出料,立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质：石墨/CFC
红外仪：单比色/双比色
电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
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