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| 品牌 |
Bronkhorst |
型号 |
EL-FLOW F-111CM |
| 货号 |
EL-FLOW F-111CM |
材质 |
金属 |
| 封装 |
原装 |
加工定制 |
否 |
| 是否进口 |
是 |
|
金属密封气体质量流量计
Bronkhorst ®型号 F-111CM 质量流量计 (MFM) 专为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用的要求而设计。这些仪器具有高表面质量和模块化结构，带有金属对金属密封件，可确保长期密封性。F-111CM 适用于在真空和 1500 psig (100 bar) 之间的工作压力下测量 0.12…6 sccm 到 1…50 slm（基于 N 2 ）的流量范围。
EL-FLOW ®Metal Sealed 系列配备数字印刷电路板，提供高精度、出色的温度稳定性和快速响应。主数字印刷电路板包含测量和控制所需的所有一般功能。除了标准的 RS232 输出外，仪器还提供模拟 I/O。作为一个选项，可以安装板载接口以提供 CANopen®、DeviceNet?、EtherCAT®、PROFIBUS DP、PROFINET、Modbus RTU、ASCII 或 TCP/IP、EtherNet/IP、POWERLINK 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW ®金属密封设计具有可选的多气体/多量程功能，为 (OEM-) 客户提供的灵活性和工艺效率。
| 测量/控制系统 | |
|---|---|
| 流量范围（可提供中间范围） | 分钟。0,12…6 ml n /min max. 1…50 l n /min （基于 N 2） |
| 准确度（包括线性度）（基于实际校准） | ±0,5% Rd 加 ±0,1% FS |
| 重复性 | < 0,2 % RD |
| 调节比 | 1:150（模拟模式下为 1:50） |
| 限度。运营压力 | 1500磅/平方英寸（100 巴压力） |
| 多流体能力 | 存储 8条校准曲线；
可选多气体/多范围功能， 10 bar abs |
| 工作温度 | -10…+70 °C |
| 温度敏感性 | 零：< 0.05% FS/°C；跨度：< 0.05% Rd/°C |
| 压力灵敏度 | < 0,1% Rd/bar 典型 N 2 ;
< 0,01% Rd/bar H 2 |
| 泄漏完整性，舷外 | < 2 x 10 -11 Pa.m 3 /s 他 |
| 态度敏感度 | 可以安装在任何位置 |
| 热身时间 | 30分钟。精度
2 min 精度 ± 2% FS |
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