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产品简介:
应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业.
应用流体:设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.
工作压力:低压(1MPa),高压(16.2MPa)
工作温度: -10℃-80℃
动作方式:手动和气动
气动阀有常开和常闭两种初始状态可选
连接方式:焊接、卡套、VCR等连接方式
表面处理:EP(标准)，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可选):5Ra,Ry＜0.7um.
接口尺寸:1/4”-3/4”
适用于各种半导体装置、设备用超高纯流体及可燃性、毒性流体生产线使用。
该阀利用直接式隔膜结构，达到高气密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。并且在Mega系列膜片阀基础上实现了小型化。
口径：1/4”～1/2”使用压力可达20.5Mpa 材质：SUS316L EP级处理
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