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| 型号 |
SC-UV-I |
测量范围 |
清洗波段：185nm和254nm |
| 测量精度 |
灯管：双波低压汞灯 |
用途 |
可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量 |
| 加工定制 |
是 |
重量 |
8 |
| 是否进口 |
否 |
货号 |
7072 |
| 是否跨境货源 |
否 |
厂家 |
长春乐镤科技有限公司 |
SC-UV系列紫外臭氧清洗机：是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
功能特点：
机身整体采用不锈钢材料，耐酸碱、防腐蚀，美观大方
抽屉式样品台，取、放基板简单、方便
预留进气接口，丰富设备的清洗种类
抽屉开合与UV灯工作互锁，避免紫外线伤害
按键定时器，数显倒计时，放便直观
清洗工作进程可以任意时间手动终止
可选臭氧中和器，避免臭氧伤害
技术指标：
清洗波段：185nm和254nm
距离UV灯3-5mm平均光强：28~32mW/cm2
灯管：双波低压汞灯
灯管功率：150W
照射区域：150mm×200mm
可调照射距离：5~40mm
定时器工作范围：0~99min99s 具有自动倒计时功能
进、出气口：进气口：φ8mm，出气口：φ25mm
设备外型尺寸：250mm（W）×300mm（D）×260mm（H）
托盘外型尺寸：160mm（W）×200mm（D）×5~30mm（H）
产品重量：8 KG
可选配带加热功能：SC-UV-I+型号
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