AC200-SE 程控伺服型精密匀胶机

　　AC200程控伺服型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中的达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

　　两种型号可选：AC200-SE（标准型）、AC200-PE（）

特点：

　　内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

　　7寸触屏控制面板操作系统，更方便操作。

　　“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

　　标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。

　　采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

　　机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，不生锈，便于清洗。

　　排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

　　透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

主要性能指标：

　　主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

　　内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料（HDPE）

　　旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可准确到0.1秒

　　转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

　　旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

　　马达旋涂转速稳定性能误差 ：小于±1rpm（AC200-SE）；小于±0.1rpm（AC200-PE）

　　转速调节精度及重复性： 1rpm（AC200-SE）; 0.1rpm（AC200-PE）

　　AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

　　工艺时间设定： 0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec

　　支持尺寸：碎片至200mm（8”圆晶）

　　旋涂作业均匀性：小于; ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

　　产品外型尺寸：433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构

　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构(适于嵌入式手套箱或工作台内)