联系人：筱晓光子-关经理
邮箱：moli@microphotons.com
电话：13061644116
地址： 上海青浦区佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
| 型号 |
IXY100-PAA-CMS |
运转方式 |
连续式 |
| 波段范围 |
近红外 |
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总览
的高精密运动台设计: IXY系列高精密运动平台优化了高刚性和高动态性能设计，满足动态性能要求的各种应用，是适用于光学、生化、电子制造等领域的理想的双轴高精密运动系统。
的精度和稳定的性能: IXY系列运动平台具有高精度和高运动性能等特点。瑞荧公司基于高精度机械和运动控制相结合的先进整体系统设计，生产出高精度和高性能的单轴、双轴、多轴高精密运动平台。
产品特点
结构精巧的双轴高精密运动平台
双电机可实现高产量
高刚性，良好的兼容性
导向精度高，精zhun定位
产品应用
二维激光加工
激光直写
光学测量
自动显微镜
技术参数
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IXY100
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IXY200
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行程
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100mm
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200mm
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精度
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-P: 1.0μm -C: 1.5μm
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-P: 1.5μm -C: 2.0μm
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重复定位精度(3σ)
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-P: 0.3μm -C: 0.6μm
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-P: 0.5μm -C: 0.8μm
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运动分辨率 *1
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AA: 10nm DS: 200nm
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AA: 10nm DS: 200nm
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速度 *2
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200mm/s
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300mm/s
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加速度 *2
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0.5g
|
0.5g
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水平方向直线度
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1.5μm
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3μm
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垂直方向直线度
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2μm
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4μm
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偏航角
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15μrad
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30μrad
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俯仰角
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50μrad
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100μrad
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装载质量 *3
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10kg
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20kg
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*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
订购信息
型号示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型号说明:
| 系列
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行程
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光栅尺类型
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编码器输出
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电缆输出
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IXY
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100: 100X100
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-P: Invar Based Scale
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AA: Sin/Cos
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-CMS: With CMS Box
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200: 200X200
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-C: Gold Tape Scale
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DS: 100nm A/B/Z
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-C01: 1m Cable
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DC: Customize
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-C03: 3m Cable
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控制系统：
1、根据精密运动平台参数和应用要求，提供不同的控制系统方案。
2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。
尺寸图
| 系列
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S
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A
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H
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M
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IXY100
|
100
|
255
|
102
|
150
|
|
IXY200
|
200
|
365
|
102
|
200
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| 单位 |
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(unit in mm)
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13061644116