联系人：筱晓光子-关经理
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| 型号 |
EUV-B-XRAY |
数量 |
1 |
筱晓光子 20nm 台式X射线源 脉宽 7 ns
激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的，由高脉冲能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
技术参数
| 参数
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单位
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指标
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产品编号
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EUV-B-XRAY
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工作波长
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nm
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20nm
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脉宽
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ns
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7
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脉冲能量（Xe）
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mJ
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3.5(4π sr, 2% BW)
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转换效率
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%
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0.45
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等离子形状
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NA
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? ~ 300 μm
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重复频率
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HZ
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10
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测试数据展示：
产品特点
● 低残留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● 耗气量（气体脉冲持续时间：<1 ms）
● 简单目标气体交换
● 桌面系统
产品应用
● 计量：反射测量、吸收
● 光谱学（nexafs）
● 光学/传感器测试
● EUV损坏调查
● 材料相互作用基础研究
● 水窗显微镜（λ=2..4纳米）
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