联系人:筱晓光子-关经理
邮箱:moli@microphotons.com
电话:13061644116
地址: 上海青浦区佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
| 型号 |
DDB-701-DL |
结构形式 |
立式 |
| 加工定制 |
否 |
|
总览
桌面尺寸无掩模(直接曝光)光刻系统,通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。
桌面台式无掩模光刻系统 手动 PALET DDB-701-MS,桌面台式无掩模光刻系统 手动 PALET DDB-701-MS产品特点
硬件特性
小型化
内置隔振机构和真空吸油泵
只需要电源和光刻间
软件特性
用户方便型接口
简易流程
支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型
通用参数
曝光示例
电路/传感器模式
| 电路图 | 晶体管图案 | 磁性传感器模式 |
| | |
三维结构*×2 仅物镜
| 高向柱结构
|
厚膜流体路径结构
|
胚胎干细胞培养结构
|
| | |
| 型号
|
DDB-701-MS
|
DDB-701-DL
|
|
载物台(Stage)
|
手动 XYZθ载物台
|
电动 XYZθ载物台
|
|
曝光光源
|
365nm (typ.) LED
| |
|
Min. 线宽
|
3μm *1 15μm *2
| |
|
单次曝光面积
|
1mm×0.6mm *1 5mm×3mm *2
| |
|
每张照片曝光时间*3
|
1~2 sec. *1 15~30 sec. *2
| |
|
Max. 曝光区域
|
25mm×25mm(手动连接)
|
25mm×25mm(自动连接)
|
|
可接受的工作尺寸
|
60mm ×60mm (t3mm)
| |
|
相容文档格式
|
DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS
| |
|
主体尺寸
|
300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)
| |
|
主机重量
|
30kg
| |
*1在使用×10物镜的情况下
*2在使用×2物镜的情况下
*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)

公司简介
筱晓(上海)光子技术有限公司是一家被上海市评为企业的光学服务公司,业务涵盖设备代理以及项目合作研发,公司位于大虹桥商务板块,拥有接近2000m2的办公区域,建有500平先进的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室,为国内外客户提供技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。依托、强大的技术支持,以及良好的商务支持团队,筱晓的业务范围正在逐年增长。目前业务覆盖国内外各高校、科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及的研发实验室,奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。
主要经营
激光器/光源
半导体激光器(DFB激光器、SLD激光器、量子级联激光器、FP激光器、VCSEL激光器)
气体激光器(HENE激光器、氩离子激光器、氦镉激光器)
光纤激光器(连续激光器、超短脉冲激光器)
光学元件
光纤光栅滤波器、光纤放大器、光学晶体、光纤隔离器/环形器、脉冲驱动板、光纤耦合器、气体吸收池、光纤准直器、光接收组件、激光控制驱动器等各种无源器件
激光分析设备
高精度光谱分析仪、自相关仪、偏振分析仪,激光波长计、红外相机、光束质量分析仪、红外观察镜等
光纤处理设备
光纤拉锥机、裸光纤研磨机 。