联系人：筱晓光子-关经理
邮箱：moli@microphotons.com
电话：13061644116
地址： 上海青浦区佳杰路99号长三角漕河泾绿洲智谷A5栋三楼
| 型号 |
XYT450 |
运转方式 |
连续式 |
| 波段范围 |
近红外 |
|
总览
XYT450 精密运动系统
通用参数
产品特点
直线电机驱动，速度 1m/s，最da加速度 2g
高刚性滚柱导轨，10kg 承载
高精度光栅尺反馈，亚微米级分辨率
全封闭防尘设计（无尘拖链）
| 型号 | XYT450M | ||
| 轴 | X | Y | T |
| 行程 | 450mm | 450mm | 360 |
| 负载1 | 10kg | ||
| 定位精度 | 3um | 3um |
|
| 重复定位精度(3σ) | 2um | 2um | ±3arcsec |
| 运动分辨率2 | 100nm | 100nm | 0.0005deg |
| 最da速度3 | 1000mm/s | 1000mm/s |
|
| 最da加速度3 | 2g | 1g |
|
| 水平方向直线度 | 3um | 3um | 径跳10um |
| 竖直方向直线度 | 3um | 3um | 轴跳10um |
| XY正交 | 10arcsec |
| |
| 平台质量 | 约1000kg | ||
*1 欢迎与厂家工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
*2 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率。
*3 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度。
*XYT450 精密运动系统可定制 Z 轴、基座等
13061644116