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| 型号 |
IXY100CA |
运转方式 |
连续式 |
| 波段范围 |
近红外 |
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总览
IXY100CA双轴中空运动平台
通用参数
技术参数
| 型号
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IXY100CA
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行程
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100mm
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精度
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1.0μm
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重复定位精度(3σ)
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0.5μm
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运动分辨率 *1
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AA: 10nm DS: 200nm
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最da速度 *2
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200mm/s
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最da加速度 *2
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0.5g
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水平方向直线度
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2μm
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垂直方向直线度
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2μm
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偏航角
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15μrad
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俯仰角
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50μrad
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装载质量 *3
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10kg
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*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
尺寸
13061644116