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| 品牌 |
Mitutoyo/三丰 |
型号 |
FS70L |
总览
日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长，倍数高，能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头，显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X，工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm，调整分辨率可达0.1mm，并可同时进行视频输出和双目观测。
FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
通用参数
特点
采用Mitutoyo远场校正镜头
三端输出设计可轻松接收视频
转盘可接最多四个物镜
应用：
切割、修整、校正、 给半导体电路做标记
薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。
还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
? 可用于红外光学系统*。
应用：晶体硅的内部观察；红外光谱特征分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
? 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
? 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
? 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
技术参数
| 标准型号
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FS70 378-184-1
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FS70-TH 378-184-3
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FS70Z 378-185-1
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FS70Z-TH 378-185-3
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FS70L 378-186-1
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FS70L-TH 378-186-3
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FS70L4 378-187-1
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FS70L4-TH 378-187-3
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Short base model No 短基础型号
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FS70S 378-184-2
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FS70-THS 378-184-4
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FS70ZS 378-185-2
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FS70Z-THS 378-185-4
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FS70L-S 378-186-2
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FS70L-THS 378-186-4
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FS70L4S 378-187-2
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FS70L4-THS 378-187-4
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聚焦调节 Focus adjustment
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使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围
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图像 Image
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正像 Erect image
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瞳距 Pupil distance
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Siedentopf 登托夫型, 调节范围:2 - 3” / 51 - 76mm
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视场数 Field number
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24mm
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俯角 Tilt angle
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-
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0°-20°
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-
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0°-20°
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-
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0°-20°
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-
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0°-20°
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光通比 Optical Pass Ratio
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固定(目 镜/TV＝ 50%/50%)
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可调型(目 镜/管径＝ 100%/0%： 0%/100%)
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固定(目 镜/TV＝ 50%/50%)
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可调型 (目镜/管径＝100%/0% or 0%/100%)
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防护滤光片
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-
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内置激光滤光片
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管径镜头 Tube lens
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1x
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1x-2x放大
|
1x
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适用激光
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-
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1064/532/355nm
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532/266nm
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相机安装端口
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C-mount (适用适配器B选件)
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使用带TV接口的激光
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C-mount开关(带绿色滤光片转换开关)
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照明系统(选件)
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亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑) 12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度
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物镜（用于观察）
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M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
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物镜（用于激光切割）
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-
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M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV
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M Plan UV
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载重
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14.5kg
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13.6kg
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14.1kg
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13.2kg
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14.2kg
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13.5kg
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13.9kg
|
13.1kg
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重量（主机）
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6.1kg
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7.1kg
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6.6kg
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7.5kg
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6.4kg
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7.2kg
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6.7kg
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7.5kg
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灯泡更换
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标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)
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用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)
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注：镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。
四种主体类型：
FS70-带1X管镜头的主体（非激光）
FS70Z-主体（非激光），带1X-2X变焦放大倍率转换器
FS70L-三YAG激光波长1064/532/355nm 主体1X*
FS70L4-两个波长范围532/266nm 主体1X*
13061644116