联系人：筱晓光子-关经理
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电话：13061644116
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| 型号 |
MASK-1538-1062-10X10 |
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总览
相位掩膜光栅是通过光栅中晶格形状和晶体表面倾斜斜角在定位晶格上刻蚀出自身相位特征的特殊构造而形成。
通用参数
| 参数
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指标
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波长
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1526nm
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1538nm
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1550nm
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光栅周期
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1054.3 nm
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1062.8nm
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1071.2 nm
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光栅周期精度和均匀性
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+/- 0.01 nm
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+/- 0.01 nm
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+/- 0.01 nm
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光栅尺寸
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10 mm x 10 mm
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10 mm x 10 mm
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25 mm x 10 mm
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基板尺寸
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30 mm x 25 mm x 2 mm
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30 mm x 25 mm x 2 mm
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30 mm x 25 mm x 2 mm
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针对248nm非偏振照明进行了优化
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13061644116