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地址： 中国 上海 奉贤区扶港路1088号
| 型号 |
BZ-FT-340系列 |
货号 |
BZ-FT-340 |
| 材质 |
1 |
适用范围 |
BZ-FT-340系列双电测电四探针方阻电阻率测试仪 |
| 加工定制 |
否 |
是否进口 |
否 |
| 产地 |
上海 |
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bz-ft-340系列双电测电四探针方阻电阻率测试仪详情介绍
bz-ft-340 series double electric four-probe resistance ratio tester
适用范围widely used：
1.覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ito导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ito导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，pcb铜箔膜，
3.emi涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，
4.抗静电材料， emi 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等，
功能描述deion：
1. 四探针组合双电测量方法
2. 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.
3. 集成电路系统、恒流输出.
4. 选配：pc软件进行数据管理和处理.
5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择
参照标准：
1.硅片电阻率测量的标准（astm f84）.
2.gb/t 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.
3.gb/t 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.
4.gb/t 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
双电组合测试方法：
利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，适用于斜置式四探针对于微区的测试。
参数资料 parameters
| 规格型号/ model
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ft-341
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ft-342
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ft-343
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ft-345
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ft-346
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ft-347
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1.方块电阻sheet resistance
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10-5～2×105ω/□
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10-4～2×105ω/□
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10-3～2×105ω/□
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10-3～2×104ω /□
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10-2～2×105ω/□
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10-2～2×104ω/□
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2.电阻率resistivity
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10-6～2×106ω-cm
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10-5～2×106ω-cm
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10-4～2×106ω-cm
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10-4～2×105ω-cm
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10-3～2×106ω-cm
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10-3～2×106ω-cm
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3.测试电流test current
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0.1μa.μa.0μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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0.1μa.μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100 ma
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1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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0.1μa、1μa、10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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|
4.电流精度current
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±0.1% accuracy
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±0.2% accuracy
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±0.2% accuracy
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±0.3% accuracy
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±0.3% accuracy
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±0.3% accuracy
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5.电阻精度resistance
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≤0.3% accuracy
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≤0.3% accuracy
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≤0.3% accuracy
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≤0.5% accuracy
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≤0.5% accuracy
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≤0.5% accuracy
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6.显示读数display
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屏液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率large screen lcd: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
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7.测试方式
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test mode双电测量double electrical measurement
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8.电源power
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输入: ac 220v±10%.50hz 功 耗：<30w
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9.误差errors
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≤3%（标准样片结果）
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10.选购功能choose to buy
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选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform
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11.测试探头test probe
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探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.
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工作原理和计算公式
1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为s1、s2、s3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
四探针测试仪工作原理图
整机示意图---显示界面
pc软件界面图
步骤及流程
1. 开启电源，预热5分钟.
2. 装配好探头和测试平台.
3. 设定所需参数.
4. 测量样品
5. 导出数据.
优点描述：
1. 自动量程
2. 双电组合测试方法
3. 标准电阻校准仪器
4. pc软件运行
5. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.
6. 可显示5位有效数字.
7. 中、英文界面
15002100776