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| 型号 |
进口二联三通高纯隔膜阀 |
材质 |
不锈钢 |
| 驱动方式 |
手动 |
压力环境 |
高压 |
| 工作温度区间 |
-40°C-80 |
特殊功能 |
提高抗膨胀和防污染能力 改进的氦气泄露测试性能 |
| 适用介质 |
高纯洁度的半导体 |
外形 |
大型 |
| 流动方向 |
双向 |
产地 |
美国 |
| 厂家 |
RETZ |
|
RETZ瑞茨/我们一直致力于流体控制领域的持续创新，始于2005……
三通高压隔膜阀、膜片阀适用于特气行业，可用于高压、高纯净管路系统。针对半导体行业研发，适用于低压、大流量、超高纯净管路系统。
金属对金属密封
全包裹阀座设计，具有优越的抗膨胀和防污染能力
镍钴合金膜片，具有更高的耐久性和抗腐蚀性
气动执行器可供选择
特点
1、SS316L VAR不锈钢阀体材料，可用于超高纯应用；
2、内表面粗糙度可达Ra 0.13μm(5μin.)，可完全清扫流道；
3、将两个LD 或HD系列的隔膜阀合二为一，通过共同的流路限度缩小了死区，而且脱气性优越；
4、在保持原有阀门基本性能的同时，通过同类或异类组合，可以设计出紧凑的配管系统；
5、可以根据配管布置选择合适的流路系统，配管配置，接头种类；
6、可以设计制作三联以上的特殊规格的多联隔膜阀；
7、钴基超级合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长；
8、全封闭式阀座设计，提高抗膨胀和防污染能力，改进的氦气泄露测试性能。同时极少产生颗粒，使用寿命长；
9、高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业；
10、每一个产品出厂都经过氦气测试。
技术数据
端接规格：1/4"，3/8",1/2"
流量系数(Cv)：0.22/0.7
使用压力:低压:300pisg(20.7bar);高压:3000pisg(207bar)
工作温度: PCTFE:-40°C-80°C(-40° F-176° F)
PEA, Vespel：-26°C-177°C(-15° F-350° F)
阀体内漏率：1x10?? sccs He
阀体外漏率：1x10?? sccs He
等级：BA、EP、SEP
阀体材质：SS 316L/A479, SS316L / VAR/SEMIF20-0305
内表面粗糙度：Ra 10 μ in、Ra 5 μ in
隔膜：钴基超级合金/ UNS R30003
阀座：PCTFE, PFA,Vespel
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