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| 型号 |
进口大流量高压手动高纯隔膜阀 |
材质 |
不锈钢 |
| 驱动方式 |
手动 |
压力环境 |
高压 |
| 工作温度区间 |
- 10+80℃ |
特殊功能 |
提高抗膨胀和防污染能力 改进的氦气泄露测试性能 |
| 适用介质 |
高纯洁度的半导体 |
外形 |
大型 |
| 流动方向 |
双向 |
产地 |
美国 |
| 厂家 |
RETZ |
|
RETZ瑞茨/我们一直致力于流体控制领域的持续创新，始于2005……
高压手动高纯隔膜阀 超洁净半导体
隔膜密封阀尽可能地减少了截流区，并通过完全可清扫流道优化吹扫，从而提高了系统效率，同时实现了有效的流量关断。
隔膜密封阀— 超高纯度高流量隔膜阀
超高纯净膜片阀针对半导体行业研发，适用于低压、大流量、超高纯净管路系统。
特点
1、SS316L VAR不锈钢阀体材料，可用于超高纯应用；
2、内部容积小，可完全清扫流道；
3、钴基超级合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长；
4、全封闭式阀座设计，提高抗膨胀和防污染能力，改进的氦气泄露测试性能。同时极少产生颗粒，使用寿命长；
5、内表面粗糙度可达Ra 0.13μm(5μin.)；
6、高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业；
7、每个产品出厂前都经过氦气测试。
技术参数 Specifications
等级：BA、EP、SEP
母体 ：SS316L，SS316L VAR，SS316L VIN/VAR
阀座 ：PCTFE，PFA，Vespel®
膜片 ：SS316L，Hastelloy® C22
工作压力：3500psig
流量系数：1.3/0.7
气源驱动压力：60 ~ 125psig
工作温度：PCTFE：- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)
PFA /Vespel®：- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)
泄漏率：外漏≤≤1x10-9std cm3/s()
内漏≤≤1x10-9std cm3/s()
内表面粗糙度：BA = Ra 10μin 、EP = Ra 5μin <
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