MAGNESCALE磁栅尺

　　上海蕴匠贸易有限公司销售日本MAGNESCALE磁栅尺、MAGNESCALE传感器、

　　MAGNESCALE磁头、MAGNESCALE数字探规、MAGNESCALE数显表等全系列产品

　　。

　　MAGNESCALE是一家始于1969年的日本精密测量设备制造商，前身为SONY

　　Magnescale（索尼磁尺公司），专注于工业级位移传感器、磁栅尺、数显

　　探规及高精度测量系统的研发与生产 。2010年，公司加入MORI SEIKI集

　　团，进一步强化了数控机床和半导体制造设备领域的技术实力。以磁栅技

　　术为核心，产品广泛应用于数控机床、智能制造、半导体工艺、精密组装

　　、木石材加工、钢铁冶金等多个工业领域 。相比传统的光学测量方式，

　　MAGNESCALE的磁性测量系统在抗油污、抗振动、耐温变、高稳定性方面具

　　有显著优势，特别适合恶劣工业环境下的长期稳定运行。

　　MAGNESCALE其历史始于1965年索尼的植村三良等人发明磁通响应型磁读头

　　。50多年过去了，现在它已变成了磁阻变化型（MR）读头，虽然磁性材料

　　也发生了变化，但本质是一样的，都是一种磁性检测方式的位置检测系统

　　，因此能够适应恶劣的环境。它不易受机床固有的结露和油污的影响，并

　　持续具有较高的耐振动性和耐冲击性。此外，它还追随机床的工作台的热

　　胀冷缩。磁栅尺的进化版是2015年发售的智能磁栅尺。这是一套在磁性传

　　感器中采用隧道磁阻（TMR）元件，并通过开发新的磁性材料、信号处理

　　电路和内插算法将栅尺和读头分离的系统。通过分离，可以对读头和栅尺

　　分别进行防护，并且可以不用轴承等磨损零件。作为面向NC机床的栅尺，

　　它兼具业界的IP67的耐环境性和5nm的高分辨率。

　　MAGNESCALE公司开发的磁性材料中，使用具有高精度磁记录的栅尺。此外

　　，通过带有检测模式的MR传感器（起磁阻作用的元件）除去了谐波失真分

　　量，从而使栅尺在保持高精度的同时，还能够适应恶劣的环境和剧烈的温

　　度变化。由于磁栅尺采用磁性检测方式，所以不易受到机床上不可避免的

　　结露和油污的影响，即使在恶劣的环境下，也能获得稳定的高精度。在栅

　　尺上会记录2个磁道的模式。增量式磁道上刻有等间隔的SN Pitch信号，

　　另一个磁道为了实现被称为M-编码（位置）而刻有区号。磁性检测采用专

　　为栅尺开发的MR元件，实现了高灵敏度和低失真。

　　MAGNESCALE内插处理技术是一种将从磁栅尺检测到的信号波形分割成所需

　　间距（细度）的技术。例如，智能磁栅尺从以400μm的间距刻出的磁刻度

　　检测到相位差为90度的两个正弦波。现在将其进行电分割，但如果信号包

　　含失真，则无法获得准确的位置信息（真值）。从栅尺检测到的信号中除

　　去DC分量，实时进行电平调整和相位调整，并通过处理进行80,000次分割

　　，以获得分辨率为5nm的位置信息。