热式质量流量计

　　质量流量控制器/流量计（）/热式质量流量计 型号:DL07-CS200A

　　CS200A气体质量流量控制器，采用传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差小化，所需流量更加。

　　采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

　　CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合通用的SEMI标准。

　　CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

　　产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

　　具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

　　CS200A，，2SLM，8mm卡套，RS485通讯，大工作压力0.45MPa,压差0.05-0.35MPa

　　技术参数

　　阀类型：常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭

　　流量规格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

　　(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

　　准确度：±1.0% S.P. (≥35% F.S.)

　　±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

　　线性：±0.5% F.S.

　　重复精度：±0.2% F.S.

　　响应时间：≤ 1sec

　　工作压差范围：

　　0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM

　　0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM

　　0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM，＜0.02 MPa

　　大工作压力：0.45MPa

　　温度系数：零点： ≤±0.05% F.S./℃；

　　调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM

　　调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM

　　耐压强度：3MPa

　　漏率：1×10-10 Pa·m3 / sec He

　　密封材料：氟橡胶

　　工作环境温度：（5～45）℃

　　输入信号：数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

　　模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

　　输出信号：数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

　　模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

　　零漂：在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

　　电源：±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)

　　表面化学成分：常态

　　表面粗糙度：25 Ra

　　标准接头形式：

　　双卡套 φ6；双卡套 1/4′′；双卡套 3/8′′；VCR1/4′′阳接头；双卡套φ3；

　　双卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头；

　　φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;

　　电源接头形式：D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头

　　重量：1 Kg