匀胶旋涂仪仪表

　　匀胶旋涂仪spin coater 型号:dl19-23nppb

　　一、设备用途和特点：

　　1、用途：主要用微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。设备能满足各类以下尺寸的基片处理要求，并配制相应的托盘夹具。验收除按卖方提供的标准基片外，另外可根据买方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圆片等验收试验要求。

　　2、特点：

　　（1）外观整洁、美观，占地面积小，节省净间的使用面积；（2）材质易于清洗和维护，设备结构布局合理，用户操作、使用、维

　　修方便；（3）采用成熟、的系统结构方式，确保设备工作的性；

　　（4）设备具备高性能、低故障率、长使用寿命、易操作维修、造型美观、售后服务完备。

　　二、 设备配置明细

　　设备具体配置如下

　　pos. qty. part deion

　　项目号 数量 部件名称 描述

　　1 1 匀胶机主机 ws?650mz?23nppb

　　匀胶机主机

　　2 1 真空泵 vacuum pump rock300

　　配套真空泵浦 rock300

　　3 1 真空托盘 spinner chuck 50~150mm

　　匀胶托盘 50~150mm

　　4 1 真空托盘 spinner adapter 10~50mm

　　匀胶转接托盘 10~50mm

　　5 1 系统附件 含密封圈若干、标准样片、水平仪、连接管

　　若干

　　6 1 操作软件 spin 3000 software

　　spin 3000 操作软件

　　7 1 安装文档 installation documents

　　安装文档

　　三. 设备技术资料

　　匀胶机台

　　1． 系统概述

　　1.1智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作；

　　1.2防腐装置；

　　1.3*设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；

　　1.4通信接口，蓝牙连接

　　2． 处理腔体

　　2.1处理腔体内径不小于 9.5 英寸 (241 毫米)；

　　2.2* wafer 芯片尺寸至少满足10?150mm 直径的材料，方片125x125mm，

　　无需更换片托；

　　2.3腔体具有易清洁的 npp 天然聚材质；

　　3． 旋转马达

　　3.1转动速度至少满足 0?12,000rpm，

　　3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；

　　3.3马达旋涂转速稳定性能误差不过±1%；4． 控制系统

　　4.1工艺时间设定范围至少满足 1?5999.9 sec/step ，精度不过 0.1s；

　　4.2配有高精度 plc 可编程的控制器，设置点精度小于 0.006%；

　　4.3可存储不少于 20 个程序段，每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度状态；

　　4.4*分辨率要小于 0.5rpm，重复性误差要小于±0.5rpm，具有标准，并且无需再校准；

　　5． 配套泵浦

　　5.1配套真空泵系统：无油型 220~240 伏交流，50/60 赫兹；

　　5.2真空吸附范围 25?28 英寸汞柱 (~635?711 毫米汞柱)可调节，抽速不小于 4.5 scfm (0.11 立方米/分钟) ；

　　6． 系统附件

　　6.1*免费赠送基于 windows 的操作软件；

　　6.2原装进口水平测试仪；

　　6.3两袋密封圈；

　　*配有两套可更换的废液接收单元；

　　四.设备运行条件

　　4?1．设备外围条件要求

　　1. 环境要求

　　a) 无尘室 1000 级或者

　　b) 温湿度 温度：22±3°c°c

　　湿度：45 ~ 70%

　　c) 安装维护距离 与其他设备或者墙面距离≥30cm

　　d) 设备尺寸以及重量 长宽高：420mm x 380 mm x 290mm

　　重量：15kg

　　2. 电力要求 220 v±10%, 16 a, 50 hz

　　3. 动力要求

　　a) 真空 25~28 inches hg

　　b) 氮气 60?70 psi

　　c) 干燥空气 60?70 psi

　　五.售后服务

　　5?1. 设备保修期为设备验收合格后 1 年(保修期内免费提供非人为因素损

　　坏的备件及服务)，并长期提供技术支持。

　　5?2 机器发生故障时,供方在 24 小时内明确回复。

　　5?3 如果未能解决问题,供方工程师应在 2 个工作日内与用方达成故障解决

　　方案。

　　5?4 设备保修期内，损坏的备件原则上卖方应在 1 个工作日内明确回复备

　　件的交货期限。并当供方仓库有备件库存时,在 1 个工作日内寄出。

　　5?5 保修期结束后，供方应在收到买方定单后 1 个工作日内明确回复备件

　　的交货期限。

　　5?6 保修期结束后，供方应优惠供应相关备件。涉及的相关技术服务尽量

　　免费解决，不可避免的收费项目，卖方应提供优惠，届时协商解决。

　　5?7 供方承诺向用方长期优惠供应设备相关的耗材。

　　5?8 售后服务，人员安排由双方协商确定。

　　5?9 针对中国客户操作员频繁更换的特点，公司每年提供所在城市的免费设备巡检服务，检查设备潜在故障和隐患，培训新操作人员。