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| 型号 |
ME-210-T |
|
| 测量 | |||
| 重复性 | 膜厚：0.1nm 折射率：0.001 * | 膜厚：0.1nm
折射率：0.001 * | |
| 测量速度
为 900 点/分钟或更高 （在广域模式下测量 100 平方毫米区域时） | 最小采样间隔
0.05秒（包括膜厚/光学 常数分析） | ||
| 5,000点/分钟以上（在
高清模式下 测量1平方毫米区域时） | - | ||
| 光源 | 半导体激光器
（振荡波长636nm） | 半导体激光器
（振荡波长636nm） | |
| 测量点 | 广域模式：0.5 平方毫米
高清模式：5.5 微米平方 | 约 1 平方毫米 | |
| 入射角 | 70度 | 70度 | |
| 兼容透明板 | 一致 | 不相容 | 不相容 |
13540631709