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5225 型 AeroBar |
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日本SIMCO思美高离子风棒5225 型 AeroBar
5225型Aeroverionizer是一种棒型离子发生器，专门设计用于半导体等超洁净工艺设备。
特征：
单晶硅电极在全球范围内拥有的采用记录，可避免电极材料造成金属污染的风险以及颗粒特性。
脉冲直流方式的大范围静电消除能力
由全数字电路控制的更稳定的离子生成和长期离子平衡
通过在静电消除目标附近安装 5200-SR 外部传感器（可选），可以反馈控制静电消除目标附近的离子平衡，而不是离子棒体（如果未连接 5200SR，内置-可使用离子棒本体的感应器。离子平衡自动调整）
设置长度适合半导体前端工艺EFEM的bar
离子发生输出、离子发生时间、报警阈值等各种参数可在大范围内设置，灵活应对长距离应用和气流弱的环境。
只需输入数值参数即可获得高重现性，并可在短时间内进行设置。
除了简单的报警IO外，还可以使用免费提供的DLL进行实时监控，有助于掌握过程设备内部的状态。
5225 型 AeroBar
| 输入电压 | 由 24V AC, 50 / 60Hz, 1W Typ. IM6T 供电。 |
|---|---|
| 沟通表 | RS485（在 IM6T 和 5225 之间） |
| 输出电压 | 0kv ~ 大约 +/- 20kv |
| 输出形式 | 脉冲直流模式、稳态直流模式（可选） |
| 输出电流 | <15micro A 内置限流限压电路 |
| 连接器 | RJ11，4极4芯 |
| 离子发生时间 | 最小0.1秒，MAX10秒 可正负分别设置 |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 臭氧生成 | <0.005ppm（24小时综合测量） |
| 相应的清洁度 | ISO 1 级，0.1 微米 |
| 尺寸 | 高 53mm x 深 31mm x 长 569mm (-22), 721mm (-28), |
| 907mm (-36), 1128mm (-44), 1412mm (-56), 1636mm (-64), | |
| 1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84) | |
| 重量 | -22: 1.02kg 0.17kg / 每加长 30cm |
| 外部的 | ABS树脂 |
接口模块 5200-IM6T 型
| 输入电压 | 24V 直流 +/- 5%，1.5A |
|---|---|
| 沟通表 | 以太网，RS232C |
| 报警输出 | 继电器触点（仅限V4.0及以上版本） |
| 尺寸 | 高 74mm x 深 71mm x 长 315mm |
| 重量 | 2公斤 |
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