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| 型号 |
FDi 系列 |
|
| 項目 | Mode 1 | Mode 2 | Mode 3 |
|---|---|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ | ||
| 解像性（L/S） | 4 μm | 5 μm | 8 μm |
| データ分解能 | 0.1 / 0.25 / 0.5 μm | ||
| 露光サイズ | 515 x 515 mm | ||
| 総合重ね合わせ精度 | 3.5 μm | ||
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