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地址： 四川成都市郫县郫都区蜀新天街
| 型号 |
H-840SA |
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作为半导体工业用的晶圆干燥装置，是有很多成果的装置，
通过离心力和气流将工件排水干燥干净，
通过吊架提升机构自动提升吊架。
| 电源 | AC200V 3φ 50 / 60Hz 15A |
|---|---|
| 驱动空气 | 0.5Mpa (5Kg/cm 2 ) |
| 处理量 | 6 英寸托架 x 2 个机架 5 英寸或更小托架 x 2 个机架或 4 个机架 |
| 允许负载重量 | 2,000g以内（每个支架的负载重量） |
| ULPA过滤器 | 是的 |
| 电离器 | 是的 |
| 控制 | PLC/变频器 |
| 经营单位 | 按钮开关 |
| 旋转速度 | 1,000 rpm
（正常转速800 rpm） |
| 马达 | 变频电机 |
| 尺寸 | 800 (W) x 990 (D) x 1004 (H) mm
盖子打开时的高度 1528 (H) mm |
| 重量 | 180Kg
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13540631709