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地址： 四川成都市郫县郫都区蜀新天街
| 型号 |
VUM-3500 |
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| 型式 | VUM-3500 |
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| ウエハサイズ | Φ300 mm（標準） |
| 同時処理枚数 | 15 枚 |
| カセット形態 | FOUP |
| ウエハ搬送 | 自動搬送 |
| ランプ灯数 | 20 本 |
| 照度測定 | 自動測定 |
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