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| 型号 |
VVRM |
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通用椭圆仪系统可用于测量玻璃上薄膜的厚度、折射率、各向异性和排列方向。
由于 AxoScan 的高测量速度（每个 Mueller 矩阵仅 0.03 秒），它能够执行一些其他椭圆仪无法执行的椭圆测量。特别是，当必须测试大型基板上的大量位置以减少节拍时间时，会使用 AxoScan。由于其全 Mueller 矩阵测量能力，AxoScan 在测量需要广义椭圆偏振法而不是标准椭圆偏振法的各向异性薄膜时也很有用。
所有 Axometrics 生产系统的构建均符合每个客户的工厂通用规格，通常包括额外的子系统，例如起重器、电离棒、机械和光学测量、安全联锁装置、地震分析和约束，以及用于自动化的完整 CIM 软件控制生产测量和机器人样品装载。
常见的系统尺寸包括：
第 4 代 / 4.5 母玻璃
Gen 5 / 5.5 母玻璃
第 6 代母玻璃
第 8 代 / 8.5 母玻璃
VVRM 系统是一种高速 AxoScan 椭偏仪系统，能够测量大型玻璃基板上的薄膜厚度。因为转塔包括倾斜和旋转功能，并且因为 AxoScan 测量整个 Mueller 矩阵，所以该系统特别适合测量各向异性薄膜。该系统最常见的用途是测量用作 LCD 面板对准层的摩擦或光对准 PI（聚酰亚胺）的对准方向、相对各向异性和厚度。
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