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| 型号 |
ISO Class 1 |
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日本SIMCO思美高扩展 ISO Class 1,10nm 兼容在线 N2 离子发生器
即使在高纯度 N2 环境中，4214 型离子发生器也支持“扩展 ISO 等级 1,10nm”的高清洁度，并实现了出色的离子平衡。
特征：
使用支持颗粒的单晶硅电极。
独特的清洁机制，不会向外部释放颗粒，确保长时间保持稳定的清洁度
采用无需任何调整的智能控制电路
内置传感器持续监测离子生成，实现可靠的静电消除。
集成紧凑型设计，内置控制器和电源
自动高压关闭功能可在低流量下保护产品
先进半导体制造工艺和其他颗粒应用的理想选择
24V 直流驱动
规格
| 输入电压 | 24V DC +/- 5% 6W 典型值。 |
|---|---|
| 离子平衡 | <+/- 25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接 |
| 静电消除时间 | <10sec 150mm 距离 40LPM 无管道连接 +/- 1kv → +/- 100v 通过充电板监视器 |
| 离子发生法 | 电晕放电式高频交流方式 |
| 清洁度 | ISO Class1,0.1 微米“扩展 ISO Class1,10nm”* |
| 电极 | 单晶硅可更换 |
| 对应吹扫气体 | N2> 99.998% |
| 流量 | 40LPM (36.5Kpa) -90LPM (171kpa) |
| 吹扫压力 | 207Kpa (= 100LPM 流量) |
| 气体温度 | 60℃ |
| N2 吹扫连接 | 世伟洛克 3/8" OD 管道 |
| 电离 N2 连接 |
世伟洛克 1/2" OD 管道连接，带 1/4 NPT 内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC |
| 工作温度限制 | 15-60℃ |
| 信号输出 | 打开/关闭触点的警报和离子滴输出 |
| 尺寸 | 长 152.4mm x 宽 72.4mm x 深 32mm 不包括
管道 |
| 重量 | 640g |
| 外部的 | 不锈钢 |
| 安装方法 | 背面 M5 螺丝 螺纹长度必须小于 10 毫米 |
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