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| 型号 |
SPD-180 |
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作为半导体工业用的晶圆干燥装置，它是有许多成就的装置，
通过ULPA过滤器的离心力和气流，将工件排出并干燥干净。
| 电源 | AC200V 3φ 50 / 60Hz 8A |
|---|---|
| 驱动空气 | 0.3Mpa (3Kg/cm 2 ) |
| 处理量 | 8 英寸 x 25 托架 1 个托架 |
| ULPA过滤器 | 是的 |
| 电离器 | 是的 |
| 控制 | PLC/变频器 |
| 经营单位 | 触控面板 |
| 注册驾驶配方数 | 五种类型 |
| 旋转速度 | 3,500 rpm （ 5 英寸，3,000 rpm 用于 6 英寸及以上） |
| 马达 | 变频电机 |
| 尺寸 | 652 (W) x 1135 (D) x 1080 (H) mm
盖子打开时的高度 1352 (H) mm |
| 重量 | 110公斤
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