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| 型号 |
SP-1100 |
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思显THINKFOCUS平整度测量机SP-1100
平整度测量机是一款高精度的非接触式平整度测量设备。采用共焦位移测量技术结合高精度运动机台，可以实现高速、高精度的平整度检测要求。
设置简单，操作方便。±1um的测量精度，±0.5μm的重复精度。
| 型号
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SP-1100
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测量速度
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≤12mm/s
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测量点间距
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0.2-72μm自由设置
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测量精度
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±1μm
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平台大小
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200×200mm
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X和Y方向行程
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100×100mm
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分辨率
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0.5μm
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重复精度
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＜1.4μm
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MAX允许负重
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10Kg
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量程(Z方向)
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400μm/1400μm/4000μm
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精度（Z）
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±0.1μm/0.5μm/1μm
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采样频率
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100Hz-10kHz
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适配器额定输入
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100-240VAC 0.8A 50-60Hz
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控制器额定输入
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24VDC 1A 1.5A（max）
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传感器输入
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24V DC 3A
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13540631709