联系人：s
邮箱：
电话：13540631709
地址： 四川成都市郫县郫都区蜀新天街
| 型号 |
AeroBarMP 型号 5635 |
|
日本SIMCO思美高离子发生器 AeroBarMP 型号 5635
5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一种颗粒兼容产品，专为需要 100 nm 或更小的细颗粒管理领域的静电消除而开发，例如在先进的半导体制造工艺中。
特征：
单晶硅电极在全球范围内拥有的采用记录，可避免电极材料造成金属污染的风险以及颗粒特性。
高静电消除性能，通过的 MP（脉冲调制）方法有效地将离子传输到目标
即使在 100 mm 的距离内也可以使用的小电位摆动特性和离子平衡，在杆长度上几乎没有偏差
离子生成状态和离子平衡始终由智能控制电路自动管理。
1/4圈即可拆装的可更换电极有助于减少维护工时
MP 方法具有极小的电位摆幅的特点简化了设置，并且小电位摆幅也有效地将长期离子平衡保持在控制标准内。
设置长度适合半导体前端工艺EFEM的bar
紧凑型设计，内置 24V DC 驱动控制器
全球可用的高级支持网络
规格5635 型 AeroBar MP
| 输入电压 | 24V 直流 +/- 10% |
|---|---|
| 输出电压 | 约13.5kv pp可调 |
| 安装距离 | 100mm-1000mm（不含空气吹扫） |
| 离子发生法 | 电晕放电法 MP（脉冲调制）法 调制频率 1-33 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡调整方法
<+/- 10V 由于位置直接在杆下而造成的差异 <+/- 10v (600 mm 距离) |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥的空气或 N2 |
| MAX吹扫压力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm（24小时积分值） |
| 信号输出 | 报警IO集电极开路输出 |
| 尺寸 | 高度 78mm x 深度 34mm x 长度低于 |
| 450
/ 600 / 850 / 1000 / 1150 / 1300 / 1450 / 1600 / 1750 /1900/2050/2200/2350mm | |
| 外部的 | ABS树脂 |
13540631709