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| 型号 |
QuadBar 型号 4635 |
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日本SIMCO思美高局部清洁静电消除电离器 QuadBar 型号 4635
4635 型 Quad Bar 是一种高清洁离子发生器,是对传统 4630/4632 型的进一步改进,以提高静电消除性能和易用性。适用于光罩等有限空间和气流环境中的静电消除。
特征:
采用的IsoStat方法自动调整离子平衡。无需调整工作
电源支持24V DC和24V AC
由于采用单晶硅电极,因此对半导体器件具有高度清洁和安全性
实现了 7.6 厘米的最小安装距离和紧凑的安装布局
全新设计的吹扫气流路径,实现长距离高速静电消除
规格
| 离子发生法 | 电晕放电式稳态直流法 |
|---|---|
| 电极 | 单晶硅(可更换) |
| 清洁度 | ISO 1 级 (24V 直流) ISO 2 级 (24V 交流) |
| 对应吹扫气体 | 清洁干燥的空气和 N2 |
| 空气连接 | 4mm内径配管 |
| 空气流量 | ~ 25LPM |
| 输入电压 | 24V AC +/- 5%, 50 / 60hz, 0.1A 典型值 |
| 24V DC +/- 5% 0.025A 典型值 | |
| 静电消除时间 | 15LPM 空气吹扫 <15 秒,30 厘米距离 (标准滤芯) |
| 15LPM 空气吹扫 <6 秒,30 厘米距离
(喷射交叉通道滤芯) | |
| 离子平衡 | +/- 20v 15cm 距离 |
| 可连接数 | 14-1535 使用变压器时最多 4 台
4030 使用控制器时最多 15 台 |
| 尺寸 | 高 33mm x 宽 33mm x 长 91mm
不包括空气连接 |
| 重量 | 108g |