联系人：陈明明
邮箱：2376521299@qq.com
电话：18593303180
地址： 中国 江苏 盐城市盐渎路787号
| 是否支持加工定制 |
是 |
是否进口 |
否 |
| 操作方式 |
手动 |
重量 |
40 |
| 外形尺寸（mm） |
630*610*500mm |
单次扫描长度 |
55mm |
| 最大样品厚度 |
50mm |
载物台可装载最大晶圆尺寸 |
200mm（8吋） |
| 最大扫描采样点数 |
120000 |
测量力 |
1-50mg |
| XY移动 |
150×150(mm） |
扫描速度 |
2μm/s-10mm/s |
| 最大晶圆尺寸 |
200mm（8吋） |
工作温度 |
16-25℃ |
| 台阶高度 |
330—1050um |
应力测量 |
可测量多种材料的表面应力 |
18593303180